Céramiques AlN : un moteur d’autonomie pour la chaîne d’approvisionnement des semi-conducteurs

Propulsé par la puissance de calcul de l'IA et les véhicules à énergies nouvelles, le nitrure d'aluminium marché L'utilisation de la céramique de nitrure d'aluminium évolue rapidement, passant d'un segment de niche à un pilier essentiel du soutien des nœuds de fabrication de semi-conducteurs avancés. La recherche constante d'une gestion thermique extrême et d'une propreté irréprochable des chambres de combustion a rendu cette céramique indispensable pour des composants clés tels que les mandrins électrostatiques (ESC), les éléments chauffants de précision et les buses céramiques HDP-CVD.

Dans les procédés de gravure, les ESC de type JR (Johnsen-Rahbek) doivent fonctionner de manière stable dans des environnements de plasma halogène à haute température. Leur mécanisme de base repose sur le maintien, par le matériau céramique, d'une résistivité volumique modérée et précisément contrôlée (10⁸~10¹¹ Ω·cm) à haute température afin de garantir une force de serrage élevée de la plaquette. Ceci exige un contrôle supérieur de la microstructure, et non un simple frittage à basse température. Dans les équipements HDP-CVD, les buses en céramique sont exposées à des plasmas hautement réactifs. Les normes industrielles exigent de plus en plus un nitrure d'aluminium de haute pureté, exempt d'adjuvants de frittage tels que l'oxyde d'yttrium (Y₂O₃).Y₂O₃) pour prévenir la contamination particulaire causée par la corrosion au plasma de fluorure, garantissant ainsi l'intégrité de la chambre.

Face à la forte demande de modules optiques 1,6T et de modules de puissance SiC, substrat céramique en nitrure d'aluminiumest devenu un élément central de dissipation de chaleur. Cela impose des seuils plus élevés en matière de pureté, de distribution granulométrique et d'activité de frittage des composants en amont. poudre de nitrure d'aluminium à haute conductivité thermiqueActuellement, les principales entreprises japonaises dominent toujours le segment haut de gamme des poudres. Cependant, fabricants chinois de nitrure d'aluminium, soutenues par des chaînes de production industrielles complètes, accélèrent leur rattrapage, réalisant des percées dans tous les domaines, de la synthèse des poudres à l'usinage de précision HTCC. Haute qualité fournisseurs de poudre de nitrure d'aluminiums'intègrent progressivement aux chaînes d'approvisionnement classiques, réduisant ainsi l'écart international dans les technologies de conductivité thermique ultra-élevée et de poudres ultra-fines.

Le plafond de performance de poudre de nitrure d'aluminium L'uniformité du serrage des ESC, la résistance à la corrosion des buses et les capacités de gestion thermique des substrats sont directement liées à la technologie. Avec l'évolution des procédés de fabrication, le nitrure d'aluminium est passé d'une solution de dissipation thermique optionnelle à un élément fondamental, soulignant l'importance stratégique croissante de l'indépendance et du contrôle de la chaîne d'approvisionnement.

Xiamen Ju Ci Nous fabriquons de la poudre d'AlN de haute pureté, des granulés d'AlN, des charges thermoconductrices et des céramiques d'AlN. N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande.

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