Application de l'AlN dans l'industrie des semi-conducteurs : Composants d'équipements pour semi-conducteurs

Dans la fabrication des semi-conducteurs, la dissipation thermique des plaquettes de silicium est cruciale. Un déséquilibre de température sur la surface de la plaquette compromet l'uniformité et la précision du processus de fabrication.

Les avantages de l'utilisation nitrure d'aluminium Les matériaux principaux comprennent : en contrôlant leur résistivité volumique, on peut obtenir une large plage de températures et une force d'adsorption suffisante. Mandrins électrostatiques (ÉCHAP) Fabriqués en nitrure d'aluminium, ils permettent une excellente uniformité de température grâce à des conceptions de chauffage très flexibles. nitrure d'aluminium composants(AlN composants) Fabriquées par co-cuisson monolithique, ces pièces éliminent les effets du vieillissement dus à la dégradation des électrodes et optimisent la qualité du produit. Elles fonctionnent durablement sous atmosphère de plasma halogène sous vide, résistent aux environnements de traitement les plus exigeants dans la fabrication de semi-conducteurs et de microélectronique, et offrent une force d'adsorption stable et un contrôle précis de la température.

Actuellement, Xiamen Ju Ci utilise la méthode de réduction carbothermique pour produire poudre de nitrure d'aluminium, avec une capacité de production de 700 tonnes par an à l'usine de Xiamen et de 1200 tonnes par an à l'usine de Mongolie-Intérieure.

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Xiamen Ju Ci Société technologique, Ltd.

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