Buses de gravure sont des composants utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs pour éliminer les matériaux indésirables de la surface des plaquettes. Buses de gravure en céramique de nitrure d'aluminium sont très résistants à l'usure, à la corrosion et très précis, et sont capables de fonctionner de manière stable pendant de longues périodes dans des environnements à haute température, haute pression et très corrosifs, améliorant ainsi les résultats de gravure et la durée de vie des buses.
Contrairement aux méthodes d'usinage d'autres fabricants, nous fabriquons des buses de gravure en nitrure d'aluminium par processus de moulage par injection, ce qui présente les avantages suivants :
1.Peut créer des formes complexes
2. Quantités de production élevées
3. Excellentes performances
4. Faible coût
Numéro d'article :
Aluminum nitride top nozzle in Ion implanterTaille :
φ62.75*28.7mmCommande (MOQ) :
10pcsDélai de mise en œuvre :
30~40 daysBuses de gravure en nitrure d'aluminium dans les applications de semi-conducteurs
La buse de gravure en nitrure d'aluminium dans l'application des semi-conducteurs se reflète principalement dans sa résistance élevée à l'usure, sa résistance élevée à la corrosion et ses caractéristiques de haute précision, ces caractéristiques permettent de travailler pendant une longue période dans un environnement à haute température, haute pression et forte corrosion, améliorent la gravure effet et durée de vie de la buse.
La conception et la fabrication de buses de gravure en nitrure d'aluminium doivent répondre au processus de fabrication de semi-conducteurs d'élimination de matière répondant aux exigences de haute précision. Dans le processus de gravure des équipements semi-conducteurs, la buse de gravure est chargée d'éliminer les matériaux indésirables de la surface de la tranche afin d'obtenir un motif précis. Étant donné que le processus de fabrication des semi-conducteurs nécessite une pureté et une précision élevées des matériaux, le choix du matériau pour la buse de gravure est crucial. Le nitrure d'aluminium est l'un des matériaux idéaux pour la fabrication de buses de gravure en raison de ses excellentes propriétés physiques et chimiques.
Les avantages des buses de gravure en nitrure d'aluminium comprennent :
Haute résistance à l'abrasion : capable de résister aux impacts et aux frottements de particules à grande vitesse, en conservant des arêtes vives au fil du temps pour garantir une gravure précise.
Haute résistance à la corrosion : capable de fonctionner de manière stable dans des environnements difficiles tels que des acides et des alcalis forts, empêchant la corrosion et assurant le fonctionnement stable à long terme de l'équipement.
Haute précision : les caractéristiques de haute précision du nitrure d'aluminium permettent à la buse de gravure de contrôler avec précision la quantité de matériau retiré, améliorant ainsi la qualité et les performances des produits semi-conducteurs.
De plus, la buse de gravure en nitrure d'aluminium présente également une stabilité thermique élevée et une bonne isolation électrique, peut maintenir des propriétés physiques et chimiques stables dans un environnement à haute température et haute pression, pour assurer la stabilité et la fiabilité du processus de fabrication des semi-conducteurs. Ces caractéristiques font de la buse de gravure en nitrure d'aluminium un élément clé indispensable dans la fabrication de semi-conducteurs, ce qui revêt une grande importance pour améliorer l'efficacité de la production et la qualité des produits.
Fiche de données
| Propriétés | Condition | Unités | AN-170I |
| Densité | -- |
g/cm3 |
3.32 |
| Conductivité thermique | 25 ℃ |
W/m·K |
170 |
| Résistance à la flexion | Méthode en 3 points,25℃ |
MPa |
410 |
| Isolation | 25 ℃ |
KV/mm |
31 |
| Résistance volumique | 25 ℃ |
Ω·cm |
4,96 × 1014 |
| Constante diélectrique | 1 MHz |
— — |
8.8 |
| Perte diélectrique | 1 MHz |
— — |
6,6 × 10-4 |
| CTE | 25~400℃ |
×10-6/K |
4.6 |
Notre avantage
La société Xiamen Juci a une superficie d'usine de 30 000 mètres carrés et l'atelier de production est équipé de 30 ensembles de fours de frittage simples, ainsi que de 8 ensembles de fours de frittage continu avancés, avec une capacité de production allant jusqu'à 1 000 tonnes/an d'aluminium. poudre de nitrure. Le centre de test mesure environ 800 mètres carrés et est équipé de plus de 100 ensembles d'équipements professionnels de test de poudres et de céramiques tels qu'un microscope électronique à balayage, un granulomètre, un analyseur d'azote-oxygène, un testeur complet de poudre, un conductimètre thermique, etc. L'entreprise dispose d'un centre de R&D d'une superficie de 1 200 mètres carrés, équipé de plus de 40 ensembles d'équipements spéciaux de R&D et d'une équipe de R&D de plus de 30 personnes qui favorisent constamment l'optimisation et l'innovation des produits, afin que l'entreprise puisse maintenir sa compétitivité. avantage dans la concurrence féroce du marché.
Ligne de production de l'entreprise
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